1. Avaliação de Propriedades Mecânicas por Nanoindentação
1.1. Introdução
1.2. O ensaio dinâmico de dureza
1.2.1. Curvas de carga-descarga
1.2.2. Área de contacto
1.2.3. Dureza e módulo de elasticidade
1.2.4. Efeito de tamanho de indentação
1.2.5. Procedimentos experimentais
Área de contacto
1.2.6. Tempos de manutenção e taxa de carregamento
1.3. Propriedades plásticas de materiais maciços (análise inversa)
1.4. Propriedades mecânicas de filmes finos
1.4.1. Módulo de elasticidade
1.4.2. Dureza e propriedades plásticas
1.4.3. Nota final
2. A Microssonda como Técnica de Eleição para a Avaliação da Composição Química em Microcomponentes
2.1. Princípios genéricos de funcionamento [Eberhart 1989]
2.2. Vantagens e limitações
2.3. Exemplos de aplicação em microfabricação
3. A difracção de raios X na microfabricação
3.1. Introdução
3.2. Análise estrutural
3.2.1. Análise quantitativa
3.2.2. Tamanho de grão e de cristalinidade
3.2.3. Orientação preferencial e textura
3.2.4. Tensões residuais
3.2.5. Estudo da evolução fásica em condições diversas
3.3. A microdifracção
4. Da Microscpia Óptica à Microscopia Electrónica
5. Microscopia de Força Atómica
5.1. Princípios genéricos [Vansteenkiste 1998]
5.2. Modos de operação
5.3. AFM e microfabricação
6. Técnicas de Avaliação do Comportamento Térmico
6.1. Introdução
6.2. As principais técnicas
6.2.1. Termogravimetria
6.2.2. Análise térmica diferencial e Calorimetria diferencial de varrimento
6.2.3. Dilatometria
6.3. Equipamentos de análise térmica
7. A Interferometria Laser
7.1. Introdução
8. Micrometrologia Dimensional por Processos Ópticos
8.1. Introdução
8.2. Contexto
8.3. Tarefas de medida na microtecnologia
8.4. Desafios na micrometrologia dimensional
8.5. Soluções para micrometrologia dimensional
8.5.1. Metrologia de superfície
8.6. Caso de estudo: micrometrologia dimensional aplicado à microfluidica
8.7. Nota final
Referências